射频等离子发生器

摘要

一包括一对电极的等离子反应发生器，电极由分开并互相面对的两个金属面(42，38)组成并在两个金属面之间形成等离子放电腔。一个金属面(38)成为带有许多输气孔(44)的金属板的表面。这些输气孔与沿着面对等离子放电腔的金属板延伸的配气室(46)连通。配气室(46)有面对金属板并保持一定距离的容器壁，容器壁也有多个在所述壁分布并连接到至少一个输气管路(52)的输气孔(50)。因此，等离子放电腔(36)的气体分布是得到非常精确的控制的。

主权项

1.一种等离子发生器，包括一个反应容器，反应容器里面的一对电极，这对电极由分隔开并且相互面对的两个金属面组成，在两个金属面之间形成等离子放电腔，至少一个所述的金属面也为金属板的面，在金属板上有许多从配气室开始，通向所述等离子放电腔的输气筛孔，所述输气筛孔从所述配气室开始，穿透所述平板并通向所述放电腔，所述配气室有壁与所述平板相对并有间隔，在所述容器壁里有一套进气系统以及给所述两个金属表面输送电能的输电系统，所述容器壁有与所述平板电绝缘的另一金属面。