发明名称 Procédé et moyens de fabrication de couches minces de composés semi-conducteurs
摘要
申请公布号 FR1504491(A) 申请公布日期 1967.12.08
申请号 FR19660062170 申请日期 1966.05.18
申请人 LA RADIOTECHNIQUE COPRIM R.T.C. 发明人 PIAGET CLAUDE
分类号 H01L21/363 主分类号 H01L21/363
代理机构 代理人
主权项
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