发明名称 |
CATADIOPTRIC PROJECTION OBJECTIVE |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP1523692(A2) |
申请公布日期 |
2005.04.20 |
申请号 |
EP20030765012 |
申请日期 |
2003.07.17 |
申请人 |
CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
EPPLE, ALEXANDER;DODOC, AURELIAN |
分类号 |
G02B5/00;G02B17/00;G02B17/08;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B17/08 |
主分类号 |
G02B5/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|