发明名称 METHOD OF SMOOTHING THE OUTLINE OF A USEFUL LAYER OF MATERIAL TRANSFERRED ONTO A SUPPORT SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1523773(A1) 申请公布日期 2005.04.20
申请号 EP20030763889 申请日期 2003.07.16
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 GHYSELEN, BRUNO
分类号 H01L21/304;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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