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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING CRITICAL DIMENSIONS WITH A PARTICLE BEAM
摘要
申请公布号 EP1523671(A2) 申请公布日期 2005.04.20
申请号 EP20030764488 申请日期 2003.07.11
申请人 APPLIED MATERIALS, INC.;APPLIED MATERIALS ISRAEL LTD. 发明人 SENDER, BENZION;DROR, OPHIR;TAM, AVIRAM;MENADEVA, OVADYA;KRIS, ROMAN
分类号 G01B15/00;H01J37/28;H01L21/027;H01L21/66;(IPC1-7):G01N23/225;G06T11/00 主分类号 G01B15/00
代理机构 代理人
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