可组卸式电浆清洗承载匣

摘要

一种可组卸式电浆清洗承载匣，系包括：一框体，其具有至少一对平行侧壁，于该侧壁上分别形成至少一镂空部，以使一侧壁上之镂空部得于另一侧壁上之镂空部相互对应，而于两对应侧壁表面分别形成多数平行对应之第一凸条对；两侧板，系与该框体以可组卸(Attachable／Detachable)之方式连接，该侧板面向框体之表面系形成复数个可与各第一凸条对匹配(Match)对应之第二凸条对，使该承载件执行电浆清洗步骤时，可以透过侧壁之拆卸将例如基板条片或导线架条片等晶片承载件完全曝露于该镂空部，并单独地分隔叠置在各第一凸条对上，令每一晶片承载件周围有更充裕的空间提供电浆流穿越，而达到较佳的电浆清洗效果。