使用气泡的基材表面处理方法及设备

摘要

从基材表面移除一物质，例如从晶圆移除光阻剂，或于基材表面形成一反应产物的技术被揭示。将复数片等间隔、平行的基材的底部垂直的浸入于一液体，将一气体例如臭氧导入于该液体中且于该基材的下方连续形成气泡，使得该等气泡在破灭之前于两相邻基材之间不断往上爬昇。在气泡爬升的过程中在基材表面的液体边界层被压缩及更新，促进在该边界层内的气-液-固质传效率，使得其中的反应更快速的被完成，于是基材表面更有效率的被处理。