| 摘要 |
本发明系为一种应用在原子力显微镜悬臂上的多自由度量测系统，主要是以雷射光(Laser)当作光源，发射一雷射光源到达放置在原子力探针悬臂顶部上的反射式光栅而分为–1阶、0阶、＋1阶，而后将–1阶、0阶、＋1阶雷射光分别反射至三个二维光检测器(2D PSD)中，或分别反射至五个二维光检测器中。而本发明主要是利用二维光检测器可同时检测出二维信号的特性，因此在原子力探针左、右两旁及上方，各放置一个二维光检测器，便可以完成原子力探针的左右移动(y轴)、上下移动(z轴)及左旋右旋(pitch轴)等三个自由度量测，或可以完成原子力探针的前后移动(x轴)、左右移动(y轴)、上下移动(z轴)及左旋右旋(pitch轴)等四个自由度量测。 |
