雷射追踪仪量测误差校正

摘要

雷射追踪仪(Laser Tracker)基本上是由干涉仪量测距离，并由两个编码器量测角度，以构成三度空间球面座标，再经由换算而求得直角座标。不过一般编码器的精度比不上干涉仪的精度，因此雷射追踪仪的整体量测精度就无法提高。本专利拟将干涉仪对长度的精密量测特性用来调校编码器的量测角度，以提高现有雷射追踪仪的座标量测精度。经由线性化分析，将导出误差和仪器误差的关系简化，并由长度校正角度，设计补偿器，最后再由实验验证之。本专利对雷射追踪仪量测精度的提升很有帮助。