摘要 |
一种以雷射为基之钻孔技术,提供了具有非常小孔洞的微多孔状之过滤器,该孔洞具有知的直径和位置。该技术之一个具体态样系有关于使用一种具有一个或更多均匀点尺寸的雷射光束,来形成每一个孔洞。该雷射光束以深度的方式将材料脱落,而于一基板中形成对应的知距离,以为了在每一个孔洞之中形成所希冀之数量的孔洞阶梯。该技术之另一个具体态样则系有关于使用一种刻痕图案化工具箔,来将具有特定直径与距离之凹洞压印至该基板中,该直径与距离系对应于该孔洞阶梯。在此二个具体态样中,高斯形状之雷射光束会将材料的最后一部分移除,以形成非常小直径之最终孔洞阶梯。 |