接触窗开口的制造方法

摘要

一种接触窗开口的制造方法，其系首先提供基底，且基底上已形成有数个闸极结构。之后，在闸极结构之侧壁以及未被闸极结构覆盖之基底表面上形成衬层。接着，于闸极结构侧壁之衬层植入一掺质，使位于闸极结构之侧壁的衬层与位于基底表面上之衬层具有不同之蚀刻选择性。然后，进行薄化步骤，以移除部分衬层，其中留下之衬层在位于基底表面上的厚度大于位于闸极结构之侧壁的厚度。继之，在闸极结构两侧形成间隙壁。然后，在基底上方形成绝缘层，并且图案化绝缘层，以在相邻的其中二闸极结构之间形成自行对准接触窗开口。