正型光阻组合物与光阻图案之形成

摘要

提供一种用于增加内含光敏性酚醛清漆树脂的正型光阻组成物之显影速度的方式，该酚醛清漆树脂的形成系经由使用1,2-并二叠氮基磺醯基基团而取代在那些硷可溶的酚醛清漆树脂中所有的酚系羟基基团之内的一些氢原子。此方式为一正型光阻组成物与使用组成物形成光阻图案之方法，其中该组成物含有(A)光敏性酚醛清漆树脂系经由使用1,2-并二叠氮基磺醯基基团取代在那些硷可溶的酚醛清漆树脂中所有的酚系羟基基团之内的一些氢原子所形成，其可溶于(B)丙二醇烷基醚乙酸酯。