一种穿透式光栅量测旋转轴误差之装置

摘要

一种穿透式光栅量测旋转轴误差之装置，该系统乃是将雷射二极体系固定于主轴，雷射二极体发出的光束入射至垂直位置上的穿透式光栅上，平行光束由穿透式光栅的作用被分成三道光束，为绕射的零阶绕射光、正一阶绕射光及负一阶绕射光，当旋转轴旋转时，零阶绕射光产生旋转轴位置改变量，而正、负一阶绕射光也产生位置改变量，经过计算可得旋转轴角度倾斜量和旋转轴之转动轨迹，进而推出旋转轴的各自由度之误差。