整合非挥发性记忆体与挥发性记忆体之元件制作方法以及积体电路

摘要

一种非挥发性记忆体与挥发性记忆体并容之元件制作方法以及一积体电路。提供一基底，其中含有一非挥发性记忆体区域及一挥发性记忆体区域。该非挥发性记忆体区域形成有一储存元件，例如一分离闸极电晶体，其制程步骤与形成该挥发性记忆体区域中之储存电容实质上是一致的。由于本发明可减少制程步骤，因此可降低混合式记忆体的生产成本。