高刚性气压压电混合致动器之装置与控制方式

摘要

本发明系有关于一种高刚性气压压电混合致动器之装置与控制方式，系一种使用锁定气压缸与压电致动器组合而成之高精度致动器，压电致动器是一种高定位精度及高刚性之致动器，但由于其有效行程仅几十微米，一般为了增加其有效行程，将其与气压缸致动器串接，但由于气压系统因气体可压缩性，其刚性较低，破坏压电致动器高刚性之特性，以致于使原气压压电混合致动器于定位过程中，不易承受外在变动负荷，因此本发明使用锁定气压缸来串接压电致动器，并利用分段控制方式，来改善原气压压电混合致动器之刚性。