发明名称 前驱膏及其制造方法
摘要 本发明提供一种精细结构前驱膏,藉此可制造具有高纵横比及高精确度而不会引起图案变形或其他缺陷之PDP肋条或其他精细结构。该感光性膏料包含:一感光材料、被分散于该膏料中以作为基本粒子之精细陶瓷粒子、及一包含一磷基化合物及一磺酸盐基化合物之界面活性剂。
申请公布号 TW200513794 申请公布日期 2005.04.16
申请号 TW093125238 申请日期 2004.08.20
申请人 3M新设资产公司 发明人 横山周史
分类号 G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 美国