化学机械抛光组合物及使用彼等之方法

摘要

本发明提供一种化学机械抛光组合物，其含有：(a)发烟矽石颗粒、(b)以抛光组合物总重为基准计，每公斤5×10^–3至10毫莫耳至少一种选自以下所组成之群组之硷土金属：钙、锶、钡，及其混合物、(c)0.1至15重量％氧化剂，及(d)含水之液体载剂。本发明亦提供一种抛光组合物，其可视需要含有氧化剂、每公斤含有5×10^–3至10毫莫耳至少一种选自以下所组成之群组之硷土金属：钙、锶，及其混合物。本发明进一步提供使用上述抛光组合物制备基片之方法。