发明名称 Method For Manufacturing Semiconductor Devices
摘要
申请公布号 KR100483290(B1) 申请公布日期 2005.04.15
申请号 KR20020080016 申请日期 2002.12.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
地址