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发明名称 Novel Polymers, Resist Composition and Patterning Process
摘要
申请公布号 KR100483418(B1) 申请公布日期 2005.04.15
申请号 KR19990016508 申请日期 1999.05.10
申请人 发明人
分类号 C08G63/00 主分类号 C08G63/00
代理机构 代理人
主权项
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