发明名称 POLYCRYSTAL THIN FILM FORMING METHOD AND FORMING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR100483484(B1) 申请公布日期 2005.04.15
申请号 KR19990024319 申请日期 1999.06.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/786;(IPC1-7):H01L21/786 主分类号 H01L21/786
代理机构 代理人
主权项
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