| 发明名称 |
IONENÄTZ-VORRICHTUNG UND -VERFAHREN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT291776(T) |
申请公布日期 |
2005.04.15 |
| 申请号 |
AT19980925778T |
申请日期 |
1998.05.25 |
| 申请人 |
UNIVERSITE PIERRE ET MARIE CURIE |
发明人 |
BRIAND, JEAN-PIERRE |
| 分类号 |
H01J37/305;H01J37/317;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/305 |
主分类号 |
H01J37/305 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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