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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR PATTERN ALIGN MARK
摘要
申请公布号 KR20050034770(A) 申请公布日期 2005.04.15
申请号 KR20030069472 申请日期 2003.10.07
申请人 LG.PHILIPS LCD CO., LTD. 发明人 GEUM, CHANG SEOK
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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