发明名称 Herstellungsverfahren einer NICHTFLÜCHTIGEN HALBLEITER-SPEICHERZELLE
摘要
申请公布号 DE50009732(D1) 申请公布日期 2005.04.14
申请号 DE20005009732 申请日期 2000.06.09
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 LUDWIG, CHRISTOPH;SCHREMS, MARTIN
分类号 H01L21/28;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/824 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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