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发明名称 SORTIER- UND LAGERUNGSANLAGE FÜR WAFER UND EIN VERFAHREN ZU DEREN HANDHABUNG
摘要
申请公布号 DE69924131(D1) 申请公布日期 2005.04.14
申请号 DE19996024131 申请日期 1999.09.21
申请人 ASM INTERNATIONAL N.V., BILTHOVEN 发明人 HASPER, ALBERT;NOOTEN, ELIZA;HENDRIKS, MENSO
分类号 B65G49/07;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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