Heissfilmluftmassensensor mit poröser Stützstruktur und Porositätsgradient unter der Sensormembran sowie Herstellungsverfahren

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf einen Heißfilmluftmassensensor, der einen Sensorchip (3) mit Sensormembran (4) enthält, wobei auf der Sensormembran (4) zumindest ein Heizelement (6) und zwei Temperatursensoren (7) angeordnet sind. Unter der Sensormembran (4) ist eine poröse Stützstruktur (11) aufgenommen, deren Porosität mit zunehmendem Abstand von der Sensormembran (4) abnimmt.