发明名称 Verfahren zum n-Dotieren definierter Bereiche von Halbleiterkoerpern
摘要
申请公布号 DE1261486(B) 申请公布日期 1968.02.22
申请号 DE1964J026309 申请日期 1964.07.31
申请人 IBM DEUTSCHLAND INTERNATIONALE BUERO-MASCHINEN GESELLSCHAFT M.B.H. 发明人 GANSAUGE DIPL.-PHYS. DR. PETER
分类号 H01L21/00;H01L21/316 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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