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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ABSCHEIDUNG VON MATERIALIEN MIT GROSSER ELEKTRONISCHER BANDLÜCKE UND GROSSER BINDUNGSENERGIE
摘要
申请公布号 DE50009742(D1) 申请公布日期 2005.04.14
申请号 DE20005009742 申请日期 2000.08.24
申请人 AIXTRON AG 发明人 KAEPPELER, JOHANNES;WISCHMEYER, FRANK;STRAUCH, GERT;JUERGENSEN, HOLGER
分类号 C30B25/02;C30B25/10;C30B25/12;C30B25/14;C30B29/36;(IPC1-7):C30B25/02 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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