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发明名称 PROZESSKAMMER UND VERFAHREN ZUM ABSCHNEIDEN VON MATERIAL AUF EINEM SUBSTRAT UND/ODER ZUM ENTFERNEN VON MATERIAL VON EINEM SUBSTRAT
摘要
申请公布号 DE69823556(T2) 申请公布日期 2005.04.14
申请号 DE1998623556T 申请日期 1998.08.03
申请人 MATTSON THERMAL PRODUCTS, INC. 发明人 CHIU, H.;HOLTKAMP, H.;KO, C.;LOWERY, J.;CHO, PETER
分类号 C25D5/00;C25D5/04;C25D7/00;C25D7/12;C25F3/30;C25F7/00;H01L21/288;(IPC1-7):C25D5/00 主分类号 C25D5/00
代理机构 代理人
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