防止微粒附着装置和等离子体处理装置

摘要

本发明提供一种防止微粒附着装置，为了防止在基板处理工序的装置内的微粒附着在基板上，在利用离子发生装置使微粒带电的同时，利用直流电源将与带电微粒同极性的直流电压施加在基板上。而且，在将气体导入基板处理工序的真空处理室的上下电极之间，将高频电压施加在上下电极上生成等离子体时，以多阶段顺序施加高频电压。即，在最初步骤中，将能够等离子体点火的最小限度的高频电压施加在上下电极上，生成最小限度等离子体，然后，分阶段地增加所施加电压，生成规定的等离子体。

主权项

1.一种防止微粒附着装置，其特征在于：包括：使配置有部件的室内气氛中的微粒带电的微粒带电装置；和在所述部件的周围形成与所述微粒的带电极性相同极性的电场的电场形成装置；可防止所述微粒附着在所述部件上。