薄膜材料及器件耐腐蚀性能的电阻变化率检测方法

摘要

一种薄膜材料及器件耐腐蚀性能的电阻变化率检测方法，将薄膜试样的测试表面浸泡在所配制模拟海洋性气候环境的腐蚀介质溶液中，试样在腐蚀过程中，与腐蚀介质接触表面的微观组织状态发生变化或发生腐蚀剥离，造成该尺寸区域材料有效导电层厚度改变，从而引起其电阻的变化，测量从浸泡起始后试样电阻随时间的变化率，根据变化率就可以反映薄膜材料及器件的耐腐蚀性能和长期使用可靠性。本发明能够方便可靠的检测薄膜材料的耐腐蚀性能，而无需复杂的仪器设备，不仅可以进行不同材料、不同腐蚀介质(种类、浓度、温度)的比较研究，而且可以对材料的长期使用可靠性做出预测。同时也可以与其它现有模拟环境腐蚀试验装置结合起来使用。

主权项

1.一种薄膜材料及器件耐腐蚀性能的电阻变化率检测方法，其特征在于，将薄膜试样的测试表面浸泡在所配制模拟海洋性气候环境的腐蚀介质溶液中，薄膜材料及器件在腐蚀过程中，与腐蚀介质接触表面的微观组织状态发生变化或发生腐蚀剥离，造成该尺寸区域材料有效导电层厚度改变，从而引起其电阻的变化，测量从浸泡起始后试样电阻随时间的变化率，根据电阻变化率就能反映薄膜材料及器件的耐腐蚀性能和长期使用可靠性。