| 发明名称 |
MICRO-MECHANICAL SENSORS AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1444864(B1) |
申请公布日期 |
2005.04.13 |
| 申请号 |
EP20020805279 |
申请日期 |
2002.11.14 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
DEHE, ALFONS;FUELDNER, MARC |
| 分类号 |
B81B3/00;H04R19/00;H04R19/04;H04R31/00;(IPC1-7):H04R19/01 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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