发明名称 METHOD USING SILICIDE CONTACTS FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING
摘要
申请公布号 EP1522093(A1) 申请公布日期 2005.04.13
申请号 EP20030741873 申请日期 2003.06.04
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 发明人 BESSER, PAUL, R.;CHAN, SIMON, S.;BROWN, DAVID, E.;PATON, ERIC, N.
分类号 H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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