| 发明名称 | 用于触针片的触针组平整化的触针片校准装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种触针片校准装置，用于触针片(1)的触针组的平整化，其中所述触针片(1)经一个专用的动态工作的校准单元(4；11)与一个作为通向测试头(5)的接触接口的印刷电路板(3)相连。 | ||
| 申请公布号 | CN1196935C | 申请公布日期 | 2005.04.13 |
| 申请号 | CN00135523.6 | 申请日期 | 2000.11.03 |
| 申请人 | 因芬尼昂技术股份公司 | 发明人 | M·昆德 |
| 分类号 | G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66 | 主分类号 | G01R1/073 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 杨松龄 |
| 主权项 | 1、触针片校准装置，用于触针片(1)的触针组在芯片(8)上的平整化，其中所述触针片(1)与一个作为通向测试头(5)的接触接口的印刷电路板(3)相连，本发明的特征是，所述触针片(1)经一个专用的动态工作的校准单元与印刷电路板(3)相连，所述校准单元经一条传感线(12)和一条驱动线(13)与一个控制单元(14)相连。 | ||
| 地址 | 联邦德国慕尼黑 | ||