加速度传感器及其制造方法

摘要

本发明提供了易于实现的用于限制惯性锤位移的精密控制结构的加速度传感器。其配备具有硅层(100)、氧化硅层(20)和硅层(300)的三层结构SOI衬底，通过从上面选择性地仅除去硅的感应耦合等离子体蚀刻，形成狭缝(S1)和(S2)，接下来，从下面进行同样的蚀刻，形成沟槽部分(G1)和(G2)，将硅层(300)隔离为惯性锤(310)和基座(330)(图(a))。接着，在选择性地仅除去氧化硅的蚀刻液中浸渍，除去氧化硅层(20)的露出部分的附近部分，用连接层(200)(图(b))将玻璃基板(400)连接在基座(330)的底面上。在硅层(100)的上面，形成压敏电阻元件，检测挠曲。根据连接层(200)的厚度正确设定惯性锤(310)向上的位移自由度。

主权项

1.一种加速度传感器，其特征在于包括：衬底层，其具有设置在中央部分的可动部分；设置在所述可动部分周围的固定部分；将所述可动部分相对于所述固定部分呈可移动状态的连接部分；惯性锤，其配置在所述衬底层下面，具有与形成在所述固定部分内侧部分下表面的控制面相对的上表面周围部分；基座，其围着所述惯性锤的周围配置，从下面支撑并固定所述固定部分；惯性锤连接层，其插入所述惯性锤和所述衬底层之间的空间里的所述上表面周围部分以外的区域，并由与所述惯性锤以及所述衬底层不同的材料构成，将所述惯性锤连接在所述可动部分的下表面；以及位移检测装置，用于检测所述可动部分的位移；其中，当加速度作用在所述惯性锤上时，根据所述连接部分产生的挠曲，所述可动部分相对于所述固定部分移动，设定所述惯性锤连接层的厚度，以使当作用的加速度在特定方向上的大小超过规定的容许值时，通过所述上表面周围部分与所述控制面发生接触来控制位移。