发明名称 LINE NARROWING DEVICE WITH DOUBLE DUTY GRATING
摘要
申请公布号 EP1012932(A4) 申请公布日期 2005.04.13
申请号 EP19980943194 申请日期 1998.08.12
申请人 CYMER, INC. 发明人 ERSHOV, ALEXANDER I.
分类号 G02B5/18;H01S3/08;H01S3/1055;H01S3/137;H01S3/139;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/08;H01S3/105 主分类号 G02B5/18
代理机构 代理人
主权项
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