溅镀用钛靶

摘要

【课题】 提供一种不会产生粒子或异常放电现象、污染物质变少、同时属软质之溅镀用钛靶。【解决手段】 一种溅镀用钛靶，其中，在溅镀用钛靶中所含之氧不纯物浓度为20ppm以下，且该靶之最大结晶粒径为20μm以下。

主权项

1.一种溅镀用钛靶,其特征为,于溅镀用钛靶中所含之氧、氮、氢等之气体成分的不纯物浓度为未满20ppm,该靶之平均结晶粒径为未满20m,且维克硬度(Vs)为120以下。2.如申请专利范围第1项之溅镀用钛靶,其中,Na、K等之硷金属、硷土金属之总含有量为5ppm以下,重金属及轻金属之总含有量为10ppm以下,U、Th等之放射性元素之总含有量为1ppb以下。图式简单说明:图1显示实施例之累积电力量及粒子发生状况的相关图。图2显示比较例之累积电力量及粒子发生状况的相关图。