即时流量监控装置与方法

摘要

本发明揭露了一种即时流量监控装置与方法，依据本发明之方法，于真实气体流量发生超出可容忍范围之一瞬间，即开始进行此点之流量值记录并让制程机台停机，同时会于外接之显示萤幕上显示出此时之气体流量值，而不若传统之作法，需要气体流量持续一段时间超出可容忍范围，才会发出警讯并停止制程。因此本发明可真正做到即时检测即时停机之目的。

主权项

1.一种即时流量监控装置,安装于一制程机台上用以监控制程时之气体流量,该装置至少包含有:一类比数位转换器,用来接收第一与第二类比信号,并输出第一与第二数位信号;一控制单元,根据该第二数位信号设定一误差容许値,并将该第一数位信号与该误差容许値进行比对,同时记录超出该误差容许値之第一数位信号,并输出一控制信号;以及第一与第二继电器,分别连接于该制程机台之开关与控制该气体流量之装置,可接收该控制信号来进行开启与关闭。2.如申请专利范围第1项之即时流量监控装置,更包含一显示幕,用以显示该超出误差容许値之第一数位信号。3.如申请专利范围第1项之即时流量监控装置,其中上述之第一类比信号与第一数位信号系为制程进行时之气体流量値。4.如申请专利范围第1项之即时流量监控装置,其中上述之第二类比信号与第二数位信号系为制程开始时使用者所设定之气体流量値。5.如申请专利范围第1项之即时流量监控装置,其中上述之第一与第二继电器,当该第一数位信号超出该误差容许値会让制程机台停机并终止传送制程气体。图式简单说明:第1图所示为根据本发明之即时检测装置的系统架构示意图。第2图所示为根据本发明之即时检测装置的系统流程图。