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发明名称 Apparatus for manufacturing intergrated circuit device
摘要
申请公布号 KR100481855(B1) 申请公布日期 2005.04.11
申请号 KR20020046060 申请日期 2002.08.05
申请人 发明人
分类号 B65G49/04;H01L21/304;B65G49/07;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B65G49/04
代理机构 代理人
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