发明名称 COATING SEMICONDUCTOR WAFERS.
摘要
申请公布号 IE31592(L) 申请公布日期 1968.06.15
申请号 IE19670001485 申请日期 1967.12.08
申请人 WESTERN ELECTRIC CO., INC. 发明人
分类号 (IPC1-7):B01J17/32;C23C13/04;H01L7/36 主分类号 (IPC1-7):B01J17/32
代理机构 代理人
主权项
地址