Een masker voor inspectie van een belichtingsinrichting, een werkwijze voor inspectie van een belichtingsinrichting, en een belichtingsinrichting.

摘要

To inspect the polarization state of light flux for exposure of an exposure apparatus, a mask for inspection is held at the photomask position. This mask for inspection comprises a polarizing element which is disposed in a light path of light flux forming an image of a light source and which can selectively transmit light flux with a plurality of polarization directions.