COOLDOWN CHAMBER OF A RAPID THERMAL PROCESSING APPARATUS,申请号KR20030006803-传众专利搜索

发明名称	COOLDOWN CHAMBER OF A RAPID THERMAL PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号	KR100481548(B1)	申请公布日期	2005.04.08
申请号	KR20030006803	申请日期	2003.02.04
申请人		发明人
分类号	H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324	主分类号	H01L21/324
代理机构		代理人
主权项
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