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发明名称 METHOD FOR FORMING A SHALLOW TRENCH ISOLATION USING OF AIR GAP
摘要
申请公布号 KR100481558(B1) 申请公布日期 2005.04.08
申请号 KR20020054202 申请日期 2002.09.09
申请人 发明人
分类号 H01L21/76;H01L21/762;H01L21/764;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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