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发明名称 INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCE
摘要
申请公布号 KR100481313(B1) 申请公布日期 2005.04.07
申请号 KR20010069823 申请日期 2001.11.09
申请人 发明人
分类号 H05H1/04;H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/04 主分类号 H05H1/04
代理机构 代理人
主权项
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