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发明名称 GEPULSTES STROMVERSORGUNGSSYSTEM MIT HOHER PULSRATE
摘要
申请公布号 DE69827524(T2) 申请公布日期 2005.04.07
申请号 DE19986027524T 申请日期 1998.12.15
申请人 CYMER, INC. 发明人 PARTLO, N.;BIRX, L.;NESS, M.;ROTHWEIL, A.;MELCHER, C.;SMITH, D.
分类号 G03F7/20;H01S3/02;H01S3/03;H01S3/036;H01S3/097;H01S3/0971;H01S3/225;H02M9/02;H03K3/57;H03K17/80;(IPC1-7):H01S3/097;G07F7/10 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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