发明名称 METHOD OF PRODUCING SELF-SUPPORTING SUBSTRATES COMPRISING III-NITRIDES BY MEANS OF HETEROEPITAXY ON A SACRIFICIAL LAYER
摘要
申请公布号 CA2540245(A1) 申请公布日期 2005.04.07
申请号 CA20042540245 申请日期 2004.09.24
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIC (C.N.R.S.) 发明人 BOUGRIOUA, ZAHIA;FELTIN, ERIC PASCAL;NATAF, GILLES
分类号 C30B25/18;C30B25/02;C30B29/40;H01L21/20 主分类号 C30B25/18
代理机构 代理人
主权项
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