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发明名称 Method for burying contact using stacked Ti/TiN
摘要
申请公布号 KR100480913(B1) 申请公布日期 2005.04.07
申请号 KR20020036765 申请日期 2002.06.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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