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发明名称 Method for fabricating semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100480914(B1) 申请公布日期 2005.04.07
申请号 KR20020046029 申请日期 2002.08.05
申请人 发明人
分类号 C23C16/42;H01L27/04;H01L21/02;H01L21/28;H01L21/31;H01L21/314;H01L21/318;H01L21/82;H01L21/8234;H01L21/8242;H01L21/8244;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 C23C16/42
代理机构 代理人
主权项
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