发明名称 Method of producing self-supporting substrates comprising III-nitrides by means of heteroepitaxy on a sacrificial layer
摘要
申请公布号 AU2004276541(A1) 申请公布日期 2005.04.07
申请号 AU20040276541 申请日期 2004.09.24
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) 发明人 ZAHIA BOUGRIOUA;ERIC PASCAL FELTIN;GILLES NATAF
分类号 C30B25/18;C30B25/02;H01L21/20 主分类号 C30B25/18
代理机构 代理人
主权项
地址