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发明名称
摘要
申请公布号
JP3636232(B2)
申请公布日期
2005.04.06
申请号
JP19950251084
申请日期
1995.09.28
申请人
发明人
分类号
H01L21/82;H03M1/34;(IPC1-7):H01L21/82
主分类号
H01L21/82
代理机构
代理人
主权项
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