主权项 |
1、一种光栅表面质量无损检测的方法,其特征在于该方法主要是采用平行光照明待测光栅时,在该光栅的整数泰伯距处形成光栅的泰伯像,然后用纳米光纤探针扫描该泰伯像,并将探测的光信号转变成电信号,再由计算机进行数据处理,即可获得该光栅的周期均匀性、直线度和整体均匀性等参数:周期均匀性:<math> <mrow> <mi>δd</mi> <mo>=</mo> <mo>[</mo> <munder> <mi>Σ</mi> <mrow> <mi>n</mi> <mo>=</mo> <mn>1</mn> </mrow> </munder> <mtext></mtext> <msup> <mrow> <mo>(</mo> <msub> <mi>d</mi> <mn>1</mn> </msub> <mo>-</mo> <mover> <mi>d</mi> <mo>‾</mo> </mover> <mo>)</mo> </mrow> <mn>2</mn> </msup> <mo>/</mo> <mrow> <mo>(</mo> <mi>n</mi> <mo>-</mo> <mn>1</mn> <mo>)</mo> </mrow> <msup> <mo>]</mo> <mrow> <mn>1</mn> <mo>/</mo> <mn>2</mn> </mrow> </msup> </mrow> </math> 式中:di为第i与i+1个光栅线之间的距离测量值,d为测量平均值,n为测量次数;直线度:<math> <mrow> <mi>δL</mi> <mo>=</mo> <mo>[</mo> <munder> <mi>Σ</mi> <mrow> <mi>n</mi> <mo>=</mo> <mn>1</mn> </mrow> </munder> <msup> <mrow> <mo>(</mo> <msub> <mi>L</mi> <mi>i</mi> </msub> <mo>-</mo> <mover> <mi>L</mi> <mo>‾</mo> </mover> <mo>)</mo> </mrow> <mn>2</mn> </msup> <mo>/</mo> <mrow> <mo>(</mo> <mi>n</mi> <mo>-</mo> <mn>1</mn> <mo>)</mo> </mrow> <msup> <mo>]</mo> <mrow> <mn>1</mn> <mo>/</mo> <mn>2</mn> </mrow> </msup> </mrow> </math> 式中:Li为所取第i个点到光栅线中线之间的距离测量值,L为测量平均值,n为测量次数;整体均匀性:<math> <mrow> <mi>δu</mi> <mo>=</mo> <mo>[</mo> <munder> <mi>Σ</mi> <mrow> <mi>n</mi> <mo>=</mo> <mn>1</mn> </mrow> </munder> <msup> <mrow> <mo>(</mo> <msub> <mi>u</mi> <mi>i</mi> </msub> <mo>-</mo> <mover> <mi>u</mi> <mo>‾</mo> </mover> <mo>)</mo> </mrow> <mn>2</mn> </msup> <mo>/</mo> <mrow> <mo>(</mo> <mi>n</mi> <mo>-</mo> <mn>1</mn> <mo>)</mo> </mrow> <msup> <mo>]</mo> <mrow> <mn>1</mn> <mo>/</mo> <mn>2</mn> </mrow> </msup> </mrow> </math> 式中:ui为第i个峰的测量值,u为测量平均值,n为测量次数,如图4中b所示。 |